Lieu d'origine: | La Chine |
Nom de marque: | TYHJ |
Certification: | ISO Certificate |
Numéro de modèle: | NF3 |
Quantité de commande min: | 200pcs |
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Prix: | negotiable |
Détails d'emballage: | 1. cylindre 44Ltr remplissant de liquide de 20Kg NF3. 2. cylindre 440L remplissant de liquide de 2 |
Délai de livraison: | 15-30 jours ouvrables après la réception du dépôt |
Conditions de paiement: | L/C, T/T, D/A, D/P, Western Union |
Capacité d'approvisionnement: | 10000KG par mois |
N ° CAS: | 7783-54-2 | EINECS No.: | 232-007-1 |
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L'ONU non.: | UN2451 | Pureté: | 99,995% |
Classe de point: | 2,2 | Apparence: | SANS COULEUR |
Surligner: | advanced specialty gases,purity plus specialty gases |
Gaz de trifluorure d'azote NF3, gaz spéciaux pour la gravure au plasma de gaufrettes de silicium incolores
Le trifluorure d'azote est le composé inorganique de formule NF3. Ce composé azote-fluor est un gaz incolore, inodore et ininflammable. Il trouve une utilisation croissante en tant que décapant en microélectronique. Le trifluorure d'azote est un gaz à effet de serre extrêmement puissant.
Caractéristiques
N ° CAS: 7783-54-2
No EINECS: 232-007-1
No ONU: UN2451
Pureté: 99,995%
Classe de points: 2.2
Apparence: incolore
Grade Standard: Grade électronique
spécification | ≥99,995% |
CF4 | ≤40 ppm |
N2 | ≤5 ppm |
O2 + Ar | ≤5 ppm |
CO | ≤5 ppm |
CO2 | / |
N2O | / |
SF6 | ≤2 ppm |
H2O | ≤1 ppm |
HF | ≤1 ppm |
Application typique
Gravure:
Le trifluorure d'azote est utilisé dans la gravure au plasma de plaquettes de silicium.
Emballage et expédition
Taille du paquet | Cylindre de 44 litres | Cylindre de 440 litres | Réservoir ISO |
Remplissage Poids Net / Cyl | 20 kg | 200 kg | / |
Quantité chargée dans un conteneur | 200 cylindres | 20 cylindres | |
Poids net total | 4 tonnes | 4 tonnes | |
Poids à vide de la bouteille | 50 kg | 240 kg | |
Soupape | CGA / DISS640 |
Personne à contacter: Millet